以百级洁脏间为例，它要求空气中0.5微米的尘埃粒子数不得赶过每立方米3520个，而0.1微米的尘埃粒子数则要求更为严格，不赶过每立方米100个。通过选择适宜的洁脏度品级、施止有效的脏化门径和按期监测调解，可以确保晶圆制造历程中的微粒污染最小化，进步产品量质和消费效率。高效、低噪的通风方法可以确保空气运动的不乱性战争均性，而空气脏化装置则可以有效去除空气中的尘埃粒子和其余污染物，保持洁脏环境的洁脏度。另外，车间内还应设置易服室、风淋室等设备，对进入洁脏区的人员停行严格的脏化办理，进一步减少污染物的带入。
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